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專利號:200810092368
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形成無機硅氮烷基電介質膜的方法


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專利號: 200810092368
申請日: 2008年4月24日
公開/公告日: 2008年12月10日
授權公告日:
申請人/專利權人: ASM日本子公司
國家/省市: 日本(JP)
郵編:
發明/設計人: 深澤篤毅、松木信雄、J·河
代理人: 趙蓉民 路小龍
專利代理機構: 北京紀凱知識產權代理有限公司(11245)
專利代理機構地址: 北京市西城區宣武門西大街甲129號金隅大廈602室(100031)
專利類型: 發明
公開號: 101319312
公告日:
授權日:
公告號: 000000000
優先權: 日本2007年6月6日11/759,159
審批歷史:
附圖數: 4
頁數: 22
權利要求項數: 2
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